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用于组装光电元件的金属MEMS结构

发布时间:2004-10-11
发布人:

Metallic MEMS structures for assembly of optoelectronic components

A.C. Nallani, T. Chen, J.B. Lee, D.J. Hayes, and D.B. Wallace, IMAPS Advanced Technology Workshop on Optoelectronics Device Packaging, Bethlehem PA, October 11-14, 2004.