材料沉积喷墨打印及
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MEMS制造材料的喷墨沉积

发布时间:2006-01-17
发布人:MicroFab Technologies, Inc.

Ink-Jet Deposition of Materials for MEMS Fabrication D. Wallace, D. Hayes, T. Chen, V. Shah, D. Radulescu, P. Cooley, K. Wachtler, and A. Nallani, Proceedings, SMTA's Pan Pacific Microelectronics Symposium, Hawaii, January 17-19, 2006.