MEMS气体传感器行业解决方案
睿度光电基于MicroFab Inkjet喷墨打印技术，以及EHD电流体动力喷墨打印技术，结合多年应用经验积累，推出了MEMS气体传感器气敏材料沉积解决方案。睿度光电根据客户需求，提供的微纳材料沉积系统具备精度高与稳定性好等特点，确保气敏材料沉积的一致性，使膜层沉积均匀、厚度可控，助力气体传感器的高效量产。同时，优化工艺流程，有效降低制造成本，为客户提供了更合适的生产选择，为气体传感器产业发展注入了新动力。
MEMS气体传感器气敏材料沉积喷墨打印解决方案
MicroFab Jetlab RUIDU RD-EHDJET
喷墨打印在制备MEMS气体传感器方面的优势
1
降低元件电阻值的分散性，提高元件的可靠性
2
纳米级薄膜的沉积能够使器件的比表面积增大，有利于提高其灵敏度，大大降低使用温度，易于器件集成化，降低成本，便于使用
3
喷墨技术有利于薄膜型气体传感器的集成化、智能化
4
解决了气体传感器的一致性和批量生产